荷蘭bronkhorst FF-A500型壓力控制器技術(shù)參數(shù)
荷蘭bronkhorst FF-A500型壓力控制器適用于在真空和 17 bar(a) 之間的工作壓力下精確測量和控制 0…500 ml n /min 和 0…20 l n /min 之間的流量范圍。該儀器將基于毛細管 MEMS 技術(shù)的快速穩(wěn)定的熱質(zhì)量流量傳感器與精確且經(jīng)過驗證的旁路結(jié)構(gòu)相結(jié)合。
荷蘭bronkhorst FF-A500型壓力控制器技術(shù)參數(shù)如下：
流量范圍（可提供中間范圍）分鐘。
最大0…500 ml n /min 0…20 l n /min
（以 N 2 計）
壓力范圍PA：0...17 bar(a)
PS：不可用
BtO：FF-C10：不可用 / FF-C11：0...17 bar(a)
精度（包括線性度）（基于實際校準）PA：±0.8% Rd + ±0.2% FS (N 2 /Air/O 2 )；
PS：±1.5% Rd + ±0.5% FS (N 2 /Air/O 2 );
BtO：高達 ±0.5% Rd 加上 ±0.1% FS (N 2 /Air/O 2 )；
對于其他氣體增加轉(zhuǎn)換不確定性；查看多氣體表；
重復(fù)性流量傳感器：< ±0.2% Rd；
壓力傳感器：< ±0,2% FS
調(diào)節(jié)比PS：1:50
PA：1:500
BtO：高達 1:1000
最大限度。運營壓力16巴克
多氣體/多范圍22 種氣體以及這些氣體的任何混合物的嵌入式氣體數(shù)據(jù)
穩(wěn)定時間（受控，典型）< 150 毫秒
長期穩(wěn)定性< 0.5% 滿量程 3 年；然后 < 0,2% FS 每年
控制穩(wěn)定性< ± 0,1% FS（1 l n /min N 2 的典型值）
工作溫度0...50攝氏度
安裝任意位置，姿態(tài)敏感度可忽略不計
溫度敏感性流量傳感器：零 0,0015% FS/oC；量程 0.03% Rd/oC；
壓力傳感器：零 0.16 mbar/oC；量程 0,05% Rd/oC
溫度精度± 0,2 oC（儀器本體溫度）
精度壓力傳感器±0,5% 滿量程
壓感標準：< 0,15% Rd/bar 典型 N 2；
帶壓力校正：< 0,02% Rd 典型值 N 2
泄漏完整性，舷外經(jīng)測試 < 2 x 10 -9 mbar l/s He
通過關(guān)閉的閥門泄漏典型值 < 1 x 10 -4 mbar·l/s He
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